石英晶片清洗機
（FYA-6060FJ）
本機特點：
1．為達到良好的漂洗效果，在1，3槽洗劑超聲波清洗后，進入一道純水噴淋漂洗+超聲波漂洗，將大部分的臟物及
洗劑排走，保正工件潔凈度，以免進入5槽熱兆聲波漂洗時產(chǎn)生二次污染.
2．為減少洗劑槽的清洗液（1槽堿液，3槽弱酸液帶少量的揮發(fā)性）對整個機臺的氣味及濃度擴散，在1,3槽體上部
設計單獨抽風系統(tǒng)，以保證機臺內部的空氣潔凈度，以免工件清洗完成后引起空氣中的二次污染。
3．為保證超聲清洗工件的均勻性，在漂洗槽體底部安裝有氮氣攪拌系統(tǒng)，氮氣攪拌時間及強度可調。
4. 為保證純水流洗槽（2，4槽）的噴淋穩(wěn)定，在這2，4槽的槽體后部都連有一副槽，實現(xiàn)純水的保有量以保證噴
淋系統(tǒng)的正常運行。
5.為保證工件最后的潔凈度第五槽清洗采用兆聲級超聲波。在許多高技術產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中需要清除粒徑小于微米
的污垢粒子，都用到兆聲級超聲波。（例如大規(guī)模集成電路硅片、硬磁盤和光刻掩蔽膜的清洗）兆聲級超聲波的清
洗不是利用超聲波的空化作用
